证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现至纯科技（603690）新取得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆收拾洗刷设备的输液体系”，专利申请号为CN9.3，授权日为2024年3月8日。
专利摘要：本发明揭露了一种晶圆收拾洗刷设备的输液体系，包含酸洗槽、硫酸供给源、双氧水供给源、榜首混合设备、第二混合设备和反响操控板；所述榜首混合设备和所述第二混合设备均包含混合管道、设于所述混合管道内的多节混合螺杆以及包裹于所述混合管道外的加热器。本发明经过分段混合的方法完成了硫酸和双氧水的充沛混合，达到了温度的准确操控、确保了混合液的充沛反响，然后确保了进入酸洗槽内的混合液契合清洗要求，提高了晶圆清洗的质量和功率。
今年以来至纯科技新取得专利授权4个，较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研制方面投入了9939.58万元，同比增67.83%。
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