欧姆龙晶圆槽式清洗机高速高精度使用：契合SECS/GEM通讯，高速出产节拍超低碎片率
碳化硅晶圆槽式清洗甩干一体机，首要结构包含：上料工位、酸洗槽、清水槽、碱洗槽、缺点查验测验工位、甩干机和下料工位。
因为碳化硅晶圆较硅晶圆厚度薄、硬度强，因此在转移及清洗过程中更简单碎片。
客户希望在保证高速节拍的前提下，下降碎片率。经过欧姆龙共同的轨道曲线操控技能，能主动核算补偿量，以按捺速度变化时产生的误差，精度高达±0.01mm。
保证了整个转移及清洗过程中的运动精度，即可在无误差的情况下完结一系列工艺操作，大大下降碎片率。
结合机器操控和上位通讯，可在短时间内以低成本轻轻松松完成SECS/GEM通讯。
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